캐논 ‘NAND 부족에서 사업 기회 포착’, 신형 KrF 노광 장비로 ASML 추월 노린다

14년 만의 신기종, 점유율 50% 이상 목표

캐논은 2026년 초를 목표로 KrF(불화크립톤) 노광 장비 분야에서 14년 만에 신기종을 출시한다. 로직 반도체나 메모리의 메가팹(대규모 공장) 납품을 겨냥해 처리 속도를 30% 높였다. 경쟁사인 네덜란드 ASML 홀딩스 등에 대항해, 현재 약 30% 수준인 KrF 노광 장비 시장 점유율을 50% 이상으로 끌어올린다는 전략이다.

2012년에 출시한 KrF 노광 장비의 웨이퍼 처리 속도를 시간당 310장까지 향상해 왔으나, 이번에 기술을 혁신해 시간당 400장까지 끌어올렸다. 이 신기종은 반도체 전시회 'SEMICON Japan 2025'(2025년 12월 17~19일, 도쿄 빅사이트)에서 패널 형태로 전시했다.

캐논은 월 생산량 10만 장이 넘는 초대형 반도체 공장에 도입될 것을 기대하고 있다. 특히 기대를 거는 분야는 NAND형 플래시 메모리다. 캐논의 반도체기기 사업부장인 미우라(三浦) 씨는 “생성형 AI가 로직 반도체와 HBM(고대역폭메모리) 수요를 견인해 왔지만, 최근 NAND 역시 공급 부족감이 강해지고 있다. NAND 제조사들은 생산성을 무엇보다 중시한다"라고 설명했다.

KrF 노광 장비는 파장 248nm(나노미터)의 레이저 광원을 탑재하여, 로직 반도체나 메모리의 비교적 회로 선폭이 큰 층(Layer)을 형성할 때 쓰인다. 현재 반도체 노광 장비 최대 기업인 ASML이 출하 대수 기준으로 50%가 넘는 점유율을 차지하고 있지만, 캐논은 생산성을 대폭 높인 신기종으로 시장 점유율을 빼앗아 오겠다는 구상이다.

캐논은 2026년 초를 기점으로 ArF(불화아르곤) 드라이 노광 장비도 출시할 예정이다. 파장 193nm의 레이저 광원을 사용하는 장비로, KrF 노광 장비보다 미세한 가공이 가능하다. 준첨단 세대의 전력 반도체용 등으로 제공한다. 미우라 사업부장은 "아주 큰 시장은 아니지만, ArF 장비를 만들어 달라는 고객사들의 요청이 있었다"라고 밝혔다.

캐논은 과거 ArF 드라이 노광 장비 사업에 진출했다가 철수했던 이력이 있어, 이번에는 경쟁력을 한층 높인 제품으로 재진입한다. 광제어의 유연성 등 기능적 측면에서 차별화를 꾀할 방침이다.
 

선도하는 다이하쓰

드디어 본격적인 경형 하이브리드차량(HEV)의 실용화가 가시권에 들어왔다. 그 최전선에 있는 것이 다이하쓰공업이다. 다이하쓰는 경차용 직렬(Series) 하이브리드 메커니즘 ‘2세대 e‑SMART HYBRID’를 ‘Japan Mobility Show 2025(JMS 2025)’에서 공개했다.

직렬 하이브리드 메커니즘이란 엔진의 동력으로 발전기를 돌려 얻은 전력 및 배터리에 저장된 전력을 이용해 구동 모터를 회전시켜 차량을 주행시키는 매커니즘이다. 차량의 구동력으로 사용할 수 있는 것은 모터뿐이기 때문에 엔진도 동력으로 활용할 수 있는 병렬(Parallel) 하이브리드 메커니즘이나 직병렬(Series-Parallel) 하이브리드 메커니즘에 비해 모터가 커지기 쉽다. 이로 인해 모터에 전력을 공급하는 발전기와 배터리도 대형화되기 쉽다.

또한 경차의 경우, 자율적 규제로 인한 차량 크기 제한이 있기 때문에 부품이 탑재되는 공간에도 엄격한 제약이 있다. 또한 ‘생활의 발’로 불리는 경차는 비용 측면의 제약도 크기 때문에 직렬 하이브리드 메커니즘을 포함한 본격적인 하이브리드 메커니즘이 적용된 HEV의 실용화는 지연되고 있었다.

업무용과 가정용 로봇을 일괄 제어하는 세계 최초의 시스템

인력 부족을 배경으로 확대되고 있는 시설 관리 서비스 로봇 시장을 겨냥해 닛켄설계(日建設計)가 올해부터 시설에 로봇을 도입하는 컨설팅 업무를 본격화한다.

“중요한 것은 로봇에 친화적인 시설 환경을 구축하는 것이다”(닛켄설계 엔지니어링 부문의 미쓰다(光田) 어소시에이트)라고 한다. 빌딩 계획 단계에서부터 지원하여 바닥의 높이 차이나 경사를 없애거나, 통로의 폭이나 도어 및 창문의 폭을 확보해 로봇을 도입하기 쉽도록 한다.

닛켄설계는 컨설팅 업무에 앞서, 2025년에 빌딩의 유지보수관리 사업을 전개하는 빌포(Builpo, 도쿄)와 새로운 로봇 관리 시스템을 공동으로 개발했다. 복수의 제조사 및 다양한 종류의 업무용 서비스 로봇을 공통된 플랫폼 상에서 일괄 관리·제어할 수 있는 오픈소스 ‘Open‑RMF’에 세계 최초로 가정용 소형 로봇을 제어하는 시스템을 도입했다.

일반적으로 업무용 로봇을 관리하는 앱은 제조사마다 달라, 에러가 발생하면 개별적으로 앱을 열어 원인을 파악해야 한다. 가정용 로봇에는 관리 앱이 없는 경우도 있어, 빌딩 시설 관리 업무에 활용하기가 어려웠다.
 

“맨먼스형 비즈니스는 언젠가 사라질 것이다”
지식집약형 비즈니스를 가속화

후지쓰는 AI(인공지능)를 활용해 시스템 개발 과정을 자동화하는 ‘AI-Driven Software Development Platform’을 개발했다. 자사의 대규모 언어 모델(LLM) ‘Takane’와 후지쓰연구소가 개발한 대규모 시스템 개발용 AI 에이전트 기술을 활용한다.

시스템 개발 각 공정에 특화된 AI 에이전트가 협력하여 요구사항 정의부터 설계, 구현, 통합 테스트까지 전 공정을 자동화한다. 우선 의료·행정용 시스템 개편에 적용하고, 2026년도에 금융, 유통, 제조, 공공 등의 분야로 확대하는 것을 목표로 한다.

2026년 1월, 일본의 진료수가 개정에 따른 소프트웨어 개수에 해당 플랫폼을 적용했다. 구체적으로는 전자의무기록(EMR) 등 의료 정보 시스템 30개 패키지와 세무, 주민정보, 복지 등 행정용 37개 패키지를 합쳐 총 67개 패키지, 약 150메가스텝 규모의 소프트웨어 자산이다. 이번 개수에 앞선 실증 실험에서는 기존에 3맨먼스(Man-month) 소요되던 개수 기간이 4시간으로 단축되고, 생산성이 100배까지 향상된 사례도 있었다고 한다.
 

비용 승인은 AI가 담당, 필요한 기술은 모두 갖춰졌다

AI 등 새로운 기술을 활용해 백오피스 업무를 자동화하는 기업이 잇따라 등장하고 있다. 목표는 업무 처리에 사람이 개입하지 않는 무인화’이다. “종이 문서나 인력을 이용한 업무 처리가 더 신뢰할 수 있다”는 생각은 이제 낡은 생각이 되었다

창립 93년의 전통 있는 포장재 제조기업인 크래프츠(Craftz)는 2025년 10월부터 AI가 종업원의 경비 정산 승인 작업을 담당하고 있다. 크래프츠는 누구나 한번은 사봤을 과자류나 음료, 반려동물 사료 등 소비재용 포장 패키지를 제조하는 업체다. 그룹 전체에 840명의 직원이 재직 중이며, 도치기나 니가타 등 일본 국내에 4개 공장, 태국 방콕에 2개 공장이 있다.

경리 분야의 승인 작업은 “실수할 가능성이 있는 AI에게 맡길 수 없다”고 여기는 기업이 많은 가운데, 크래프츠는 어떻게 승인 작업의 ‘무인화’를 실현했을까?

크래프츠에서 경비 정산을 승인할 때 AI가 체크하는 항목은 매우 다양하다. AI는 우선 직원이 신청한 내용이 사내 규정 등에 위배되지 않는지 확인한다. 영수증 첨부 누락이나 경비 항목, 날짜, 적격청구서 발행사업자 등록번호의 기재 오류 같은 미비점에 대해서도 체크한다. 문제가 없으면 AI가 1차 승인을 하고, 직원에게 지급하는 프로세스로 이행한다. 신청 내용에 미비점이 발견되면 AI가 경리 담당자에게 해당 내용을 보고하거나, 신청자에게 반려하는 작업까지 대행한다.

크래프츠 관리본부 경리부의 이시구로(石黒) 부장은 “(신청서를) 체크한 뒤 무엇 때문에 NG 판정이 났는지 코멘트가 표시되므로 편리하다. 사무직 직원들은 모두 AI가 수행하는 처리 내용을 알고 있으며, AI 활용은 사내에도 침투하고 있다”라고 말했다.

기능 도입을 서두르고 있는 제조업 DX 스타트업 1부

공정 관리·재고 관리와 같은 제조업 DX(디지털 트랜스포메이션)에 관련된 시스템 이용 서비스를 제공하는 복수의 스타트업들이 서비스에 생성 AI(인공지능)를 활용한 데이터 분석 기능 도입을 서두르고 있다. 서비스 도입이 궤도에 오른 유저에게는 다수의 실적 데이터가 축적되어 있어 이것을 분석하면 업무 개선의 힌트를 얻을 수 있기 때문이다.

-- 생산 실적 데이터를 분석해 개선점을 제안 --
제조업 DX 스타트업 Smart Craft(도쿄)는 공정 관리·생산 실적 수집을 위한 클라우드 서비스 ‘Smart Craft’의 옵션인 ‘AI 어시스턴트’ 제공을 2026년 1월 8일에 개시했다. Smart Craft는 MES(제조 실행 시스템)의 기능을 핵심으로 하는 시스템으로, 태블릿이나 스마트폰 등 모바일 기기를 이용해 작업 지시, 작업 착수 및 완료에 대한 기록, 진행 상황 관리, 실적 데이터의 집계·분석 등을 할 수 있다. AI 어시스턴트는 이 가운데 실적 데이터의 집계·분석에 대해 대략적인 자연어 지시만으로도 경향 파악을 위한 그래프 작성이나, 개선점 제안 등을 할 수 있다.

독자적인 가열 방식으로 ‘잘 찌그러지게’ 가공

유니프레스는 충돌 시 에너지 흡수량을 높인 차체 골격 부품을 개발했다. 1.5 GPa 급의 고강도 프레임에 독자적인 가열 방식을 조합하여, 프레임 선단부 약 15 cm 구간의 강도를 780 MPa 급까지 단계적으로 낮춘다. 충돌 시 강도를 낮춘 부분이 잘게 찌그러지면서 더 많은 충격 에너지를 흡수해 안전성을 높이는 원리다. 이 기술은 2026년 1월 도쿄 빅사이트에서 열린 전시회 ‘오토모티브 월드’에서 공개되었다.

경차 등 비용과 크기가 제한적인 차량을 대상으로, ‘리어 사이드 멤버’라는 부위에 채택되는 것을 목표로 한다. 강판을 가열해 프레스하는 핫스탬핑 공법으로 1.5GPa 급으로 강도를 높인 프레임의 선단부를, 독자적인 가열 처리를 통해 단계적으로 강도를 낮춘다.

기존에는 1.5GPa급 프레임의 선단 전체를 980MPa 급으로 낮추어 사용하는 방식이었다. 이 경우, 선단의 일부만 찌그러져 충격을 충분히 흡수하지 못하는 케이스가 있었다. 이번에는 선단 강도를 단계적으로 낮춤으로써 충돌 시 잘게 좌굴(Buckling, 굽힘 현상)되도록 유도해 충격 흡수 에너지량을 높일 수 있다. 충돌 에너지가 동일하다면 강판 두께를 1.6mm에서 1.4mm로 줄여 경량화가 가능하다.