일본산업뉴스요약

Nikkei X-TECH_2023.5.3

Rapidus, 벨기에 imec의 최첨단 장치 이용 가능
2nm 반도체 제조를 위한 전진

일본 정부의 주도 하에 설립된 반도체 제조기업 Rapidus(도쿄)는 2023년 4월 4일, 반도체 연구기관인 벨기에 imec의 코어 파트너 프로그램에 참여한다고 발표했다.

이로써 Rapidus는 imec에 설치된 최첨단 반도체 제조장치를 사용해 자사에서 목표로 하는 최첨단 2nm 세대 프로세스의 로직 반도체 제조를 위한 연구개발을 할 수 있게 된다. "이번 합의는 반도체 산업에서 일본의 위상을 재건하기 위한 우리의 노력이 결정적인 단계에 이르렀음을 보여준다"(Rapidus의 고이케(小池) 사장).

imec은 네덜란드 ASML Holding(ASML)와 공동으로 최첨단 프로세스 반도체 제조에 필수적인 하이 NA(개구수) EUV(극자외선) 노광장치를 개발 중이다. 또한 GAA(Gate All Around)와 같은 새로운 게이트 구조나 3D 구현 등의 연구에도 착수한다.

“Rapidus가 imec의 프로그램에 참가함으로써 imec의 첨단기술이나 시스템솔루션, 최첨단의 300mm 파일럿라인, 그리고 광범위한 파트너 네트워크를 이용할 수 있게 된다”(고이케 사장).

imec의 코어 파트너 프로그램에는 이미 주요 파운드리와 반도체 업체들이 참여하고 있다. 대만의 TSMC와 한국의 삼성전자, 그리고 반도체 메모리 기업인 키옥시아(Kioxia)나 미국의 Western Digital, 소니 세미컨덕터 솔루션즈 등이다.

imec의 CEO인 Luc Vandenhove 씨는 “Rapidus는 일본이 세계의 반도체 에코시스템에서 주도적인 지위를 되찾기 위한 기초가 된다. 이번 협업은 반도체 산업의 강점이 '분열'이 아닌 '결합'에 있음을 보여주는 예다. (현재) 세계 각국이 각자의 강점을 강화해 나갈 필요를 느끼고 있지만 진정한 진보는 각자의 강점을 연결하는 국경을 초월한 협업에 있다"라고 말했다.

 -- 끝 --

Copyright © 2020 [Nikkei XTECH] / Nikkei Business Publications, Inc. All rights reserved.