일본산업뉴스요약

Nikkei X-TECH_2022.11.11

첨단 기술 뉴스 플러스
도요타, NTT 등이 반도체 제조업체 설립
IBM의 기술 도입으로 2nm세대의 국산화 노린다

2022년에 2nm세대 반도체 프로세스의 요소 기술 획득하고, EUV(극자외선, Extreme Ultra Violet) 노광 장치 도입에 착수한다---. 니시무라(西村) 경제산업성 장관은 11월 11일의 회견에서 차세대 반도체 양산을 위한 연구개발 플랫폼을 연내에 설립하겠다고 공표했다.

이와 함께 도요타자동차와 소니그룹, NTT 등이 출자하는 새로운 반도체 회사도 설립해 이 2개의 축으로 2nm세대의 “2020년대 후반 양산화”(니시무라 장관)를 목표로 한다고 한다.

연구개발 플랫폼 LSTC(Leading-edge Semiconductor Technology Center)가 차세대 반도체 기초연구를, 새로운 반도체 회사 라피더스(Rapidus)가 양산화를 맡는다. 라피더스는 소니그룹, 도요타자동차, 덴소, 키옥시아(KIOXIA), NTT, NEC, 소프트뱅크, 미쓰비시UFJ은행 등 총 8개 사가 출자해 설립한 회사이다. 정부는 라피더스에 700억엔의 개발비를 지원할 방침이다.

2nm세대 프로세스의 개발은 “기본적으로 미일 제휴를 축으로 하고, 제조 노하우는 IBM으로부터 획득한다”(가네지(金指) 경제산업성 상무정보정책국 정보산업과장). 또한 미일 양 정부는 지난 7월, 대중(對中) 정책의 일환으로 차세대 반도체 양산화의 공동 개발에 합의했다.

도쿄일렉트로닉에서 회장 겸 사장, 최고경영자(CEO)를 지낸 히가시(東) 씨가 LSTC의 이사장과 라피더스의 CEO에 취임한다.

LSTC는 첨단 설계 기술 및 첨단 장치·소재 기술을 연구 개발해 라피더스의 파일럿 라인에서 활용. 연구 개발한 기술을 바탕으로 라피더스 측에서 양산 설계 환경과 양산 장치·소재를 확보해 양산 제조 라인을 확립할 예정이다.

LSTC에는 도쿄대와 이화학연구소 등 국내 주요 연구기관이 참가. 아카데미아 대표에는 전(前) 도쿄대학 총장의 고노카미(五神) 씨, 반도체 회로 설계 기술을 확립하는 연구 개발 책정 책임위원 겸 설계 기술 개발 부문장에는 구로다(黑田) 도쿄대학 교수가 부임한다. 또한 LSTC에 대해서는 “연구소를 새롭게 만드는 것이 아니라, 전국의 대학 및 연구 기관으로 구성된 분산형으로 추진해나간다”(가네지 정보산업과장)라고 한다.

한편, 라피더스의 주요 임원·사원의 경우, 대표 이사장에 웨스턴디지털재팬의 프레지던트를 지낸 코이케(小池) 씨가 취임하는 등, “반도체의 연구 개발에 종사하거나 국제 기관에서의 업무 경험이 있는 멤버로 구성되어 있다”(가네지 정보산업과장)라고 한다.

-- IBM이 노하우 제공 --
라피다스는 IBM 등과 제휴해 2nm세대 로직 반도체를 개발하고, 국내에서 단(短) TAT(Turn Around Time) 파일럿 라인 구축과 테스트 칩을 이용한 실증을 실시할 계획이다. 올해에 2nm세대의 요소 기술 획득 및 EUV 노광 장치 도입에 착수했다.

단 TAT 생산 시스템에 필요한 장치와 운송 시스템, 생산 관리 시스템의 사양을 책정하고, 파일럿 라인의 초기 설계를 실시한다. “프로세스 개발 기간은 최대 5년”(가네지 정보산업과장)으로, 그 이후 사업화를 목표로 한다.

IBM으로부터는 2nm세대 GAA(Gate-All-Around) 트랜지스터 프로세스의 노하우를 제공 받을 수 있을 것으로 전망하고 있다. EUV 노광 장치는 네덜란드 ASML과 직접 교섭해 “2~3년의 납기로 도입할 수 있을지도 모른다”(경제산업성).

반도체 부족과 미중 무역마찰 등으로 반도체 공급망 혼란이 이어지고 있는 가운데 일본은 차세대 반도체의 안정적인 조달에 위기감을 느끼고 있다. 정부는 미일 제휴를 통한 반도체의 확보를 목표로 하며, “미국에도 차세대 반도체를 제공해나갈 방침이다. 국내에서는 아직 2nm 세대 프로세스의 유저는 적지만, 2030년경의 수요를 시야에 넣고 있다”(경제산업성)라고 한다.

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