일본산업뉴스요약

디지털 미차압계, 반도체의 수율 향상
MEMS기술로 업계 최소 실현

야마모토전기제작소(고베 시, 야마모토(山本) 사장)는 도호쿠대학(東北大学) 등과 연계하여, 미세전기기계시스템(MEMS) 기술을 사용한 업계 최소의 디지털 미차압계(Micromanometer)「Manostar Digital Sensor QDP33」을 발표하였다. 반도체 제조장치에 수십 개 단위로 편입하여, 최고 0.1Pa 단위의 공기압 변화를 검지(檢知)한다. 이는 반도체의 수율(收率·yield rate) 향상에 도움이 된다고 한다. 양산 체제를 정비하여, 한국의 삼성 계열 반도체 제조장치업체에 우선 납입할 계획이다.

야마모토전기제작소는 IoT 보급으로 인해 반도체 시장이 확대될 것을 예상하여 제품화하였다. 내장하는 MEMS 칩의 크기는 사방 5mm이며, 미차압계 본체의 사이즈는 폭 30mm X 높이 30mm X 안 길이 30mm다.

압력이 표준 레인지인 500Pa 대응은 6만 엔 전후, 초미압 레인지인 25Pa 대응은 10만 엔 전후를 예상한다. 모두 소비세 포함 전 가격이다. 첫해에 1만 2000개의 판매를 계획하고 있다.

2010년 가을부터 전임기술자 1인을 붙여서, 도호쿠대학 마이크로시스템 융합연구개발 센터, MEMS 관련 벤처인 MEMS CORE와 공동으로 개발을 진행해 왔다.

이번의 MEMS 칩은 MEMS CORE에 생산 위탁하여, 야마모토전기제작소가 본사 공장의 클린룸 환경에서 양팔형 로봇을 활용하여, 최종제품을 만드는 생산체제를 구축하였다. 개발비가 누계 1억 엔을 초과하였고, 생산설비는 금형 설비비를 포함하여 약 7000만 엔을 투자하였다.

야마모토 사장은「신제품을 구극의 디지털 미차압계로 지정하였다. 앞으로도 산학연계를 통해 가일층 소형화에 도전한다」고 밝혔다.

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