일본산업뉴스요약

염색 검사 기술로 온도 센서 개발
KURABO, 반도체 웨이퍼 세정용

방적 기업인 KURABO는 섬유 염색에서 축적한 카메라 기술을 활용해 온도 센서를 개발하였다. 반도체 웨이퍼를 세정할 때, 주입한 용액의 고르지 않은 온도를 그 자리에서 측정할 수 있는 검사 장치로서 상품화한다. 이미 세정장치 업체에 샘플을 대여하였다. 고객의 요구를 바탕으로 제품의 사양을 결정한다. 2020년도까지 판매를 시작할 예정이다. 생산은 협력업체에 위탁한다. 관련 제품도 포함해 25년에 매출 50억엔을 목표한다.

검사 장치는 직경 4cm, 길이 12cm의 카메라, 케이블과 정보처리기기를 세트로 하였다. 카메라 무게는 130g. 반도체 재료인 웨이퍼를 씻는 매엽식 세정 장치에 내장해서 사용한다. 카메라는 장치 내의 웨이퍼를 씻는 방에 하나씩 두는 구조다.

한번에 4,800개의 점 온도를 측정한다. 45도로 기울여 40cm 정도 떨어뜨리면 직경 30cm의 웨이퍼 전면을 측정할 수 있다. 카메라가 적외선을 전기신호로 바꿈으로써 약액의 온도 분포를 산출한다. 섭씨 0.1도의 오차 이내로 산출한다.

세정 공정의 경우는 원형 웨이퍼를 회전시키면서 약액을 주입해 표면의 오염 등을 씻어낸다. 그러나 주입한 부분과 주변에서 몇 도의 온도 차가 발생하면서 웨이퍼의 성질에 차이가 생겨 불량품의 원인이 된다. 그 자리에서 고정밀도로 계측함으로써 바로 온도를 조정해 불량을 억제할 수 있다.

세정 장치의 방은 강산∙알카리 약액이 튀면서 최대 섭씨 60도의 고온이 된다. 기기가 망가지기 쉽기 때문에 사용 후의 약액을 온도계로 측정하거나, 완성품 웨이퍼의 품질을 체크해서 온도를 추정하는 것이 일반적이다.

KURABO는 카메라의 소재에 폴리에테르 에테르 케톤(PEEK) 등 내열성이나 내약품성이 높은 수지를 사용해 강도를 높였다. 웨이퍼 세정용 온도 센서는 호리바제작소 등도 범용품을 전개하고 있다. KURABO는 고객 별로 제품의 사양을 바꿔 대형 고객에게 판매한다.

반도체 제조용은 세정액의 농도를 측정하는 센서, 프린트 기판의 외관을 검사하는 장치를 전개해 왔다. 앞으로는 약액의 막의 두께나 농도를 측정하는 기기도 개발한다.

KURABO는 최근에 섬유사업을 중심으로 이익이 저조한 사업을 정리하면서 이익률이 높은 비섬유 사업을 육성해 왔다. 그러나 섬유사업의 부진을 메우지 못하고 19년 3월기 영업이익은 56억 엔으로 전기 대비 약 20% 감소하였다.

새로운 성장 사업을 찾아 신규 사업의 창출을 서두른다. 16년에는 오사카후에 연구개발 거점을 신설. 섬유사업으로 축적한 기계 제어나 카메라 기술을 활용. 로봇용 비전 센서 등 4개의 프로젝트로 사업 개발을 추진하고 있다. 총액 200억엔 정도의 사업을 창출할 계획이다.

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