일본산업뉴스요약

스마트폰∙TV를 더 선명하게
코벨코과연, 산화물 반도체용 성막재 개발

코벨코과연은 액정 디스플레이에 사용되는 산화물 반도체 ‘IGZO’의 2~3배인 전자 이동도를 구현한 산화물 반도체용 성막 재료를 개발했다. 8K TV 등 차세대 고해상 대형 플랫 패널 디스플레이용에 적합하며 양산체제를 갖추었다. 국내외 패널 제조사에 제안을 시작하고 있으며 이미 1개 사에 양산품으로 채용되었다. 연간 15억 엔의 매출을 목표로 한다.

개발한 성막 재료 ‘KOS-B03C’는 디스플레이 표시에 이용되는 박막 트랜지스터(TFT)를 구성하는 층 안에서 중요한 전류를 제어하는 스위칭 소자에 사용한다. 산화물 반도체를 구성하는 인듐∙갈륨∙아연의 산화물 재료에 주석을 섞어 특성을 만들어냈다.

이 재료는 대형 TV에서 주류인 구리 배선 및 TFT에서 비용 우위성이 있는 제조공정에 적합해 생산 비용을 낮추는 데에도 기여할 수 있다고 한다.

신재료는 전자 이동도가 높기 때문에 유저에게 요구되는 TFT의 소형화로 디스플레이의 고해상도 및 고개구율, 저소비전력 등이 기대된다. 스마트폰부터 대형 TV까지 용도 전개가 가능하다.

최첨단 제11세대 크기(약 3m)의 대형 유리 기판 등에도 대응한다. 이 재료의 가격은 개별 대응으로 두께 및 폭, 길이 등에 따라 달라진다.

코벨코과연은 고베제강소의 자회사다. 재료 및 구조물의 분석∙시험∙해석∙시작 및 박막 타겟 재료의 제조, 반도체 검사 장치의 설계 등을 전개한다.

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