일본산업뉴스요약

기술로 미래 개척: 산총연의 도전
저온 플라즈마 프로세스
재료의 고기능∙고부가가치 실현
사카키타 하지메(榊田創) / 산총연 전자광기술연구부문 선진플라즈마프로세스그룹

-- 생활에 필수 --
지구는 플라즈마로 덮여 있다 지상에서도 플라즈마 기술은 생활에 있어서 필수다. 그 운용분야는 무한정으로 넓고 앞으로도 활용 확대가 기대된다. 그래서 산업기술총합연구소(산총연)는 장기간 축적해 온 다양한 선진 플라즈마 프로세스 기술을 전개한다. 새로운 저온 플라즈마 프로세스를 이용하여 기존에는 불가능했던 다종∙다양한 소재와 재료의 고기능화∙고부가가치화, 신규의료기기, 제형(Dosage Form)가공 등에 관한 연구 개발을 추진하고 있다.

기존 기술에서는 프로세스의 압력에 따라 다른 장치가 필요했고, 방전제어조건∙저온화∙대규모화의 한계로 인해 응용분야가 한정되어 있었다. 이 과제를 해결하기 위해 산총연은 고주파 회로에 널리 사용되는 마이크로스트립 선로(Microstrip Line)의 Array화를 통한 대규모 마이크로파 플라즈마 생성기술을 확립하였다.

-- 차세대 툴 --
높은 압력(102파스칼-대기압)에서 사용할 수 있는 고속∙대량처리∙저가∙저전력∙콤팩트∙장수명의 프로세스다. 일렉트로닉스 산업의 차세대 프로세스 툴로서 다양한 가스의 저온 플라즈마를 제공할 수 있다.

이 프로세스는 섬유∙종이∙플라스틱 등의 표면 개질, 반도체 공정에서의 표면처리, 나노입자처리, 카본재료합성, 질화물합성, 농산물처리 등에 대응할 수 있다. 열에 약한 소재에 대한 고속∙대면적 저온 플라즈마 처리기술로 표면기능을 비약적으로 향상시킨다.

특히 준대기압 영역에서 저온 플라즈마를 안정적으로 공급할 수 있기 때문에 고기능화∙고스루풋화가 가능하다. 이들에 관한 컨소시엄을 개최하여 많은 기업의 참여를 기대하고 있다.

-- 저 침습(Invasion) 기기 --
저온 플라즈마를 의료분야에 적용하여 저 침습 지혈기기를 개발하였다. 지금까지는 조직의 소작(Cauterization)∙압궤손상 지혈을 해 왔지만 저온 플라즈마로 혈액 응고물을 발생시켜 출혈점을 물리적으로 피복함으로써 조직을 태우지 않는 지혈을 실현하였다.

그리고 작용점이 다른 지혈 처치의 차이를 명확하게 하여 세계 각국의 의료기기심사기관이 이용할 수 있는 ‘저온 플라즈마 지혈기기의 기본성능과 안전성에 관한 규격’의 책정을 선도한다. 국제표준 IEC 60601-2-76의 발간에서는 산총연 직원이 의장과 전문가 역할을 맡았다. 일본의 기술에 바탕을 둔 의료기기가 객관적이고 적정한 평가를 받아, 사용 확대나 기업의 해외 전개에 기여할 것으로 기대된다.

 -- 끝 --