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차세대 반도체 재료, 질화갈륨 연구 시설 확충 -- 산학관 연대 차세대 인프라
  • 카테고리스마트카/ 항공·우주/ 부품
  • 기사일자 2018.10.25
  • 신문사 일간공업신문
  • 게재면 23면
  • 작성자hjtic
  • 날짜2018-11-03 19:21:56
  • 조회수358

차세대 반도체 재료 질화갈륨 연구 시설 확충
산학관 연대해 차세대 인프라 구축

나고야대학이 차세대 반도체 재료로써 기대되는 질화갈륨(GaN)의 연구체제를 강화하고 있다. GaN의 결정 성장에서 평가, 디바이스 시제품까지를 한번에 실행하는 실험거점 ‘에너지 변환 일렉트로닉스 실험시설(C-TEFs)’를 개발한 데에 이어서 12월에는 연구거점 ‘에너지 변환 일렉트로닉스 연구관(C-TECs)’를 완성한다. 25억 엔 이상을 투자한 설비 측면에 더해 산학관으로 구성되는 연구 컨소시엄의 확대 등 조직 측면도 강화하고 있어 개발에 속도가 붙을 전망이다.

-- 특화 ‘세계 최초’ --
C-TEFs는 디바이스 제작 장치 및 미세 패턴 노광 장치, 웨이퍼를 약액으로 세정하는 과학처리실 등을 갖춘다. “세계 최초의 GaN 디바이스에 특화된 프로세스 라인을 구축했다.”(아마노 교수)며 자랑스러워 한다. 설비 조정 및 시운전, 디바이스 제작 조건의 확립 등을 추진하고 있으며 2019년 4월에 외부에도 개방되어 이용할 수 있을 전망이다.

C-TECs에는 GaN에 관련된 미래 일렉트로닉스 집적 연구 센터 등의 교원의 연구실에 더해 면적 약 2,000평방미터의 기업의 연구거점 공간을 설치한다. 학내외의 연구자가 모여 소속 및 전문분야를 넘은 연계를 도모하기 쉬워져 연구개발에 속도가 붙는다.

연구 컨소시엄은 기업 및 대학, 연구기관을 합쳐 2년 동안 약 2배인 약 70개의 기관으로 구성될 정도로 확대됐다. 토요타자동차 및 덴소, 토요다합성, 도시바 등이 설립한 산학협동연구부문도 확대하고 있다. 연구개발에서의 허브 기능을 담당하는 것만이 아닌 교육 코스도 설치해 학생 및 사회인의 청년 인재 육성을 도모하는 등 장기적인 시야에서의 체제 정비도 추진한다.

-- 중개 기능 강화 --
컨소시엄의 회원인 산업기술종합연구소 및 물질∙재료연구기구는 오픈 이노베이션 래버러토리 및 공동연구 랩을 나고야대학에 설치해 연구기관과의 연계의 중개 기능도 강화하고 있다.

나아가 이 조직 대 조직의 산학 연계로 연구를 매니지먼트하는 조직 ‘GaN 연구전략실’도 지원하고 있다. 연구전략의 기획 및 입안, 지적재산 매니지먼트 등을 실시해 산학관의 연구개발 및 사회정착의 가속으로 연결하고 있다.

GaN은 청색발광다이오드(LED) 이외에도 휴대전화 등에서의 무선통신용 고주파 디바이스, 전기차(EV) 및 전력제어용 파워 디바이스, 의료∙화학분석에서의 자외선 발광 디바이스 등에서의 응용이 전망된다. 이 디바이스들의 고성능화 및 에너지효율이 도모된다면 “지속가능한 스마트 차세대 사회의 인프라 구축으로 연결된다.”(아마노 교수)고 강조한다. 2030년까지 모든 전력 소비량의 15% 이상 절감을 목표로 할 생각이다.

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