일본산업뉴스요약

스타트업X
전자총, 보다 작고 싸게
포토 일렉트론, 2.7억엔 조달

주로 전자현미경의 광원에 사용되는 전자빔 발생장치(전자총)를 개발하는 Photo electron Soul(나고야시, 스즈키(鈴木) CEO)은 벤처캐피털인 비욘드 넥스트 벤처즈를 인수처로 하는 제3자할당증자를 통해 총 2억 7,000만엔을 조달하였다. 전자총의 소형화와 제조비용 절감에 관한 연구에 쓰인다.

전자현미경은 물질의 미세한 구조나 움직임을 ‘㎛(나노는 10억분의 1)수준’으로 관찰하는데 사용한다. 반도체나 그 원재료인 실리콘 웨이퍼의 표면을 검사하는데 이용되는 경우가 많다. 물질의 특성을 분석하는데도 사용된다.

포토 일렉트론의 전자총으로 발생시킨 전자빔에는 전자가 통상보다 많이 포함되어 있다. 기존의 전자빔보다도 전자가 확산되지 않고 관찰 대상 물질에 보다 많이 조사(照射)할 수 있는 특징이 있다. 전자현미경의 광원에 사용하면 선명하고 밝은 이미지를 얻을 수 있다. 직경 8인치의 실리콘 웨이퍼의 표면을 검사할 경우 기존의 현미경으로는 4시간 가까이 걸렸었다. 포토 일렉트론의 전자총을 광원으로 한 현미경을 사용하면 20분 정도로 단축할 수 있다.

전자총의 크기는 데스크탑 컴퓨터와 거의 비슷하다. 가격은 수천만엔 정도. “국내외의 반도체검사장치 업체가 도입을 염두에 두고 장치에 대해 평가하고 있다”(스즈키 CEO). 전자총을 보다 작고 싸게 만들 수 있다면 납품처가 더욱 증가할 것으로 전망하고 이번 자금 조달을 결정하였다.

포토 일렉트론은 2015년 7월에 설립된 나고야대학발 스타트업 기업이다. 스즈키 CEO는 나고야대학 대학원 생명농학연구과에서 박사학위를 취득, 나고야대학의 기술∙지적재산의 사업화에 관여한 업적이 있다. 기술개발 담당이사인 니시타니(西谷) 씨는 나고야대학원 이학연구과를 수료하고 나고야대학 싱크로트론 광연구센터의 특임강사로 근무했었다.

니시타니 씨는 독자적으로 개발한 반도체에 레이저광을 조사하여 전자빔을 발생시키는 ‘반도체 포토캐소드 기술’이라는 방법을 고안하였다. 포토 일렉트론은 이 기술을 사업화할 목적으로 설립되었다. 07년 2월에는 도레이의 자회사와 차세대 전자현미경에 응용할 수 있는 기술을 공동으로 연구한다고 발표하였다.

전자부품의 미세∙고성능화를 가능하게 하는 미세가공기술(나노테크놀로지)의 필요성은 높아지고 있다. 전자현미경에 요구되는 성능도 보다 고도화되고 있으며 포토 일렉트론의 전자총도 주목받고 있다.

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