기체 일렉트로닉스
気体エレクトロニクス
목차
內容
本書は， 真空中の電子物理と気体放電現象を基礎的事項から， わかりやすく解説している。 また， ガスレーザ， プラズマCVD， プラズマディスプレイなどの応用分野についても幅広く取り上げている。
目次
1. 序論
1.1 概説
1.2 気体エレクトロニクスと電子工学
1.3 電子物理学の誕生
1.4 放電物理学の誕生
1.5 気体エレクトロニクスの発展
2. 静電気の基本則
2.1 概説
2.2 クーロンの法則
2.3 電界の強さ
2.4 電位と電位差
2.5 ガウスの定理
2.6 電位の傾き
2.7 ポアソンの式，ラプラスの式
3. 電子
3.1 概説
3.2 比電荷の測定
3.3 電子の電荷
3.4 電子の質量
3.5 電子の大きさ
3.6 電子の波動性
4. 熱放射と光量子
4.1 概説
4.2 熱放射
4.3 放射と吸収
4.4 温度一定の容器の熱放射
4.5 キルヒホッフの法則
4.6 空洞放射
4.7 ウィーンの変位則
4.8 プランクの量子仮説
5. 原子の構造
5.1 概説
5.2 原子
5.3 核外電子
5.4 原子模型
5.5 最外殻電子
6. 電子放出
6.1 概説
6.2 仕事関数
6.3 熱電子放出
6.4 光電子放出
6.5 二次電子放出
6.6 電界放出
7. 真空中の電子の運動
7.1 概説
7.2 真空技術
7.3 電界中の電子の運動
7.4 磁界中の電子の運動
7.5 電界・磁界中の電子の運動
7.6 電子レンズ
8. 電子ビーム
8.1 概説
8.2 電子銃
8.3 ブラウン管オシロスコープ
8.4 電子顕微鏡
8.5 電子ビームの吸収
8.6 電子ビーム加工
8.7 X線放射
8.8 電子ビームによる排ガス処理
8.9 電子ビームによる表面処理
9. 気体放電の基礎
9.1 概説
9.2 気体分子運動論
9.3 粒子の衝突過程
9.4 電離
9.5 励起…135
9.6 再結合と付着
9.7 移動度
9.8 拡散
10. 気体の絶縁破壊・コロナ放電
10.1 概説
10.2 放電の開始
10.3 コロナ放電
10.4 コロナ放電の応用
11. グロー放電
11.1 概説
11.2 グロー放電の形式
11.3 陰極降下領域
11.4 負グロー
11.5 ファラデー暗部
11.6 陽光柱
11.7 陽極降下領域
11.8 高周波放電
12. アーク放電
12.1 概説
12.2 アーク放電の発生
12.3 陰極降下部
12.4 陽光柱
12.5 陽極降下領域
12.6 高気圧アークの電圧・電流特性
12.7 真空アーク
13. プラズマ
13.1 概説
13.2 プラズマの基本的性質
13.3 プラズマの発生
13.4 プラズマの診断
14. 放電・プラズマの応用
14.1 概説
14.2 照明用放電管
14.3 ガスレーザ
14.4 プラズマディスプレイ
14.5 プラズマプロセッシング
14.6 プラズマ溶射
14.7 スパッタ技術
参考文献
索引