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    ULSI 디바이스, 프로세스 기술

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    內容

       ギガビットメモリやギガクロックロジックに代表される次世代ULSIのデバイス構造およびプロセス技術体系について， 普遍的事項を重視しつつ， 新しい技術についても採り上げ， 今後進むべき方向についてもわかりやすく解説した。


    目次

         1.  バイポーラトランジスタの動作機構

         2.  ＭＯＳトランジスタの動作原理

         3.  ＵＬＳＩデバイス構造

         4.  ＵＬＳＩの製造方法

         5.  リソグラフィとエッチング

         6.  ＵＬＳＩ製造の要素技術

         7.  信頼性と検査技術

         8.  ＵＬＳＩのための将来技術
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