마이크로파 플라즈마 기술
マイクロ波プラズマの技術
목차
內容
放電プラズマは薄膜作製から分析、 環境技術など工業で広く利用され、 産業の基盤技術として定着しているが、 近年、 プラズマ技術の高度化の要求により、 高周波プラズマからマイクロ波帯のプラズマ技術の研究開発が急速に進展している。 本書は、 マイクロ波帯のプラズマ生成と制御の技術を基礎から解説するとともに、 各種応用のための技術や事例を具体的に解説した。
目次
1章 プラズマ生成入門
2章 マイクロ波帯のプラズマの発展と特色
3章 マイクロ波帯のプラズマ生成の考え方
4章 プラズマ生成のモデリングとシミュレーション
5章 マイクロ波帯プラズマの実際と応用
6章 プラズマ生成のためのマイクロ波技術