투명도전막의 기술
透明導電膜の技術 = Technology of transparent conductive ox
목차
內容
本書は、 液晶表示板などのフラットパネルディスプレイおよび太陽電池の透明電極として使用されている透明導電性酸化物薄膜材料に関する技術解説書である。
関連産業とその技術の社会的位置づけ、 および透明導電膜の歴史、 物質科学、 応用例を述べ、 関連する材料科学を紹介、 実用デバイスへの薄膜の応用にあたって必要となる技術、 薄膜の作製法、 微細加工法、 および機能の評価方法を詳細に解説している。
最後に、 薄膜作製にあたって必要となる材料および装置の入手に関するデータを付録としてまとめた。
目次
第1章 地球環境・エネルギー・情報化社会
1-1 地球環境問題
1-2 エネルギー問題と太陽電池技術
1-3 情報化社会とディスプレイ技術
1-4 透明導電膜素材資源
参考文献
第2章 透明導電膜は何に使われるか
2-1 透明導電膜とは ―ITO膜開発の歴史―
2-2 液晶ディスプレイ
2-3 プラズマディスプレイ
2-4 そのほかのディスプレイ
2-5 太陽電池用透明導電ガラス
2-6 機能性ガラス
2-7 導電性フィルム
2-8 透明導電膜を利用するそのほかの技術
参考文献
第3章 透明導電膜材料の基礎的な性質は何か
3-1 透明導電性材料の基礎物性
3-2 欠陥と電子状態
3-3 電気的性質
3-4 光学的性質
参考文献
第4章 透明導電膜の新しい展開
4-1 透明酸化物半導体としての展開
4-2 デバイス応用
4-3 アモルファス透明酸化物半導体のフレキシブルデバイスへの応用
4-4 ナノ透明酸化物半導体
4- 5 全く新規の物質の探索：12CaO・7Al2O3
参考文献
第5章 透明導電膜の材料にはどんなものがあるか
5-1 透明導電膜材料の特質
5-2 酸化インジウム（スズ添加酸化インジウム：ITO）
5-3 酸化スズ
5-4 酸化亜鉛
5- 5 酸化チタン（Ti系ペロブスカイトを含む）
5-6 アモルファスIZO（酸化インジウム・亜鉛）
参考文献
第6章 透明導電膜をどのようにして作るか
6-1 各種の作製方法
6-2 スパッタ法
6-3 ターゲット材料
6-4 真空蒸着法とイオンプレーティング法
6-5 パルスレーザ堆積法
6-6 化学的作製法
参考文献
第7章 透明導電膜をいかに微細加工するか
7-1 フォトリソグラフィーによる電極加工方法
7-2 ウェットエッチングによる電極加工方法
7-3 ドライエッチングによる電極加工方法
参考文献
第8章 透明導電膜はどのように評価するか
8-1 測定法の概要
8-2 力学的特性の測定法
8-3 光学的特性の測定法
8-4 電気的特性の測定法
8-5 国際標準
参考文献
付録 業務資料