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    처음의 반도체 실리콘

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    內容

    　初級技術者を対象に、半導体シリコンの基礎知識を解説。 シリコン結晶の性質や特徴、ウェーハの製造、ロジック、DRAMの両トランジスタに要求される性能などが、1冊で理解できる。


    目次

         第１章　シリコンとデバイスの概論
         第２章　ウェーハの結晶欠陥とデバイス
         第３章　ウェーハの機械的性質とプロセス
         第４章　ウェーハのトポグラフィーとプロセス、デバイス
         第５章　今後のウェーハ動向
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