일본산업뉴스요약

교세라, 초음파 센서 소자 개발
혈관∙피부 단면상 해상도 3배 이상

교세라는 혈관 및 피부의 단면상의 해상도를 타사 제품보다 3배 이상 높일 수 있는 초음파 센서 소자 개발에 착수했다. 샘플을 제작해 시장 조사와 용도 개척을 시작했다. IVUS(혈관내 초음파 검사) 용도만이 아닌 치료 및 미용 등의 헬스케어 용도, 지문인증용도의 이용도 생각하고 있다.

교세라가 가진 압전 디바이스 설계 기술과 미세 가공 기술을 활용해 고주파의 초음파 센서 소자의 샘플을 만들었다.

IVUS는 초음파의 송수신 장치를 장착한 카테터를 혈관 내에 삽입해 단면상을 얻는 검사 방법이다. 기존 IVUS와 피부 에코가 사용되고 있는 주파수 60메가헤르츠 정도에서의 사용을 가정했다. 초음파 프로브의 제작에 사용되는 벌크 세라믹 기술과 비교해 효율이 좋다.

또한 더 세밀하게 재현하는 능력을 나타내는 ‘방위분해능’은 타사의 압전체에서는 500마이크로미터각의 경우 200마이크로미터 정도지만 교세라의 미세 가공 기술을 활용해 하나 당 직경 50마이크로미터 정도로 만든 진동 부분을 나란히 세워 빔 폭을 좁히면 방위분해능을 3배 이상인 60마이크로미터 정도로 높일 수 있다고 한다. 이 원리를 현재 검사하고 있으며 양산기술로 이르면 수 년 내에 제품화할 계획이다.

샘플 소자는 초음파를 송수신하는 부분을 포함해 2mm각이다. 실험에서 잡기 좋은 크기로 만들었지만 이 이하로도 만들 수 있다. 샘플의 제공 시기 및 단면상을 비추는 장치의 제조에 대해서는 향후 검토해나간다.

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