일본산업뉴스요약

정전기로 먼지 흡착시키는 보드 개발
반도체 제조에 있어서 먼지 예방

크리에이티브테크놀로지는 정전기를 사용해 미세한 쓰레기의 비산을 방지하는 보드 ‘파티클 콜렉터’를 개발했다. 반도체 제조 시에 작업대에 설치하는 용도로 개발했다. 전원을 넣어 보드 위에 정전기를 발생시켜 공기 중에 있는 먼지 등을 흡착할 수 있으며 흡착한 먼지가 다시 날리지 않게 한다. 반도체 제조사 등에 판매해 2022년에 연간 2억 엔 규모의 매출을 목표로 한다.

파티클 콜렉터는 반도체 제조 장치에서 실리콘 웨이퍼를 흡착시킬 때에 사용하는 정전 척 기술을 활용해 개발했다.

AA건전지 4개로 사용할 수 있으며 AC 어댑터로 콘센트에 연결해 사용하는 것도 가능하다. 배터리는 사용 상황에 따라 반년에서 1년 정도 지속된다. 가격은 개별견적. 납기는 주문 받고 1개월 정도 소요된다. 보드 크기는 특별 주문에 대응 가능하며 최대 세로 900mm, 가로 1,800mm다.

공기 중의 미세한 먼지에 대전시켜 보드에 흡착하기 쉽게 할 수 있는 ‘마이너스 이온 발생기’를 옵션으로 주문할 수 있다. 마이너스 이온 발생기로부터 30cm~50cm 정도의 범위 안의 미세한 먼지에 대전시키는 것이 가능하다.

반도체의 제조 공정에서는 미세한 먼지를 막기 위해 클린룸에서 작업이 이루어진다. 그러한 환경에서도 미세한 먼지가 발생하는 경우가 있어 불량률을 높이는 원인이 되고 있다.

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