일본산업뉴스요약

하마마쓰포토닉스와 후루카와전기공업, 광산업기술진흥협회의 사쿠라이겐지로 기념상 수상
레이저 가공 기술과 광통신용 광 증폭 기술

광산업기술진흥협회(光産業技術振興協会, 광협회)는 2026년 1월 14일, ‘제41회(2025년도) 사쿠라이 켄지로(櫻井健二郎) 기념상의 수상자를 발표했다. 수상자는 2팀 8명이며, 첫 번째 팀은 하마마쓰(浜松)포토닉스 레이저사업부의 나가타(永田) 부장 등 4명. 반도체 웨이퍼의 내부에 레이저로 미세한 개질층을 형성해 다이싱하는 ‘스텔스 다이싱(Stealth Dicing)’을 실현한 것이 높은 평가를 받았다.

두 번째 팀은 후루카와전기공업(古河電気工業) 정보통신솔루션통합부문의 요시다(吉田) 팀 리더 등 4명. 장거리 통신 네트워크와 데이터센터의 광섬유를 이용한 통신 기반 기술이 높은 평가를 받았다.

-- 산업 진흥에 대한 기여도를 평가 --
사쿠라이 켄지로 기념상은 광협회의 설립을 이끌고 이사도 역임한 고(故) 사쿠라이 켄지로 씨의 광산업 진흥에 기여한 공적을 기리는 동시에, 광산업 및 기술의 진흥과 발전을 도모하기 위해 만든 상이다. 학술적 성과에 머무르지 않고, 산업 진흥에 기여한 기술을 중시하는 자세로 매년 1팀 당 최대 4명, 총 2팀까지 선발하고 있다. 그 결과, 지금까지 광기술 발전에 기여한 대부분의 저명한 연구자 및 기술자들이 이 상을 수상한 바 있다. 상금은 각 팀 당 50만 엔이다.

-- 최첨단 반도체 제조 기술의 기반으로 --
이번 수상 기술을 보다 상세하게 설명하면, 하마마쓰포토닉스 4인의 수상 이유는 ‘고성능 액정공간 광변조기의 개발과 실용화로의 기여’이다.

구체적으로는 ‘Liquid Crystal On Silicon‑Spatia Light Modulator(LCOS‑SLM, 실리콘 기판형 액정공간 광변조기)’라고 불리는 소자 개발이다. LCOS는 CMOS 회로상에 형성된 반사형 초소형 액정 디스플레이로, 프로젝터는 물론 최근에는 VR(가상현실) 고글이나 AR(증강현실) 안경 등에도 사용되고 있다. 이번 수상의 대상이 된 것은 그 고출력 버전이며, 사람에게 영상을 보여주기 위한 것이 아니라, 레이저광의 조사 패턴을 제어하는 광변조기로써 고출력 레이저 가공이나 3D 프린터 등에 사용되는 타입이다.

이 고출력 LCOS‑SLM은 당초 내열성이 낮은 것이 해결 과제였지만, 나가타 부장 등 4명이 내열성 향상에 주력, 고출력 레이저광의 안정적 제어를 실현했다. 적용이 가능한 중요한 용도로는 반도체 웨이퍼의 초고정밀도·고속, 그리고 물을 사용하지 않는 건조 공정에서의 다이싱인 스텔스 다이싱이 있다. 일본의 대형 반도체 제조장비 업체들도 이 기술을 채택하고 있다.

-- 후루카와전기공업은 장거리 광통신 및 데이터센터의 초광대역 통신 실현에 기여 --
한편, 후루카와전기공업의 요시다 팀 리더 등 4명의 수상 이유는 ‘세계 최고 수준의 출력·최소 전력 구동 초광대역 라만 증폭기용 여기 광원의 개발 및 실용화’이다.

라만 증폭이란, 유도 라만 산란이라는 현상을 이용해 광섬유 내에서 빛(여기광)으로 빛(신호광 또는 스톡스광)을 증폭하는 기술이다. 유도 라만 산란은 여기광, 신호광, 그리고 광섬유 내의 이산화규소(SiO₂)의 격자 진동이 서로 공명하여 결과적으로 유도 방출이 일어나는 현상이며, 증폭 대상이 통신용 신호광이 아닌 경우에는 파이버 레이저(Fiber Laser)라고 부른다.

후루카와전기공업의 이 여기광용 반도체 레이저 소자는 다층 인듐·갈륨·비소∙인/인듐인화물(InGaAsP/InP)로 구성된 비대칭 도파 구조를 도입해 고출력화와 고효율화를 실현, 라만 증폭의 효과를 크게 향상시켰다. 세계 시장 점유율은 30%를 넘어섰다.

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