일본산업뉴스요약

Nikkei X-TECH_2024.5.31

도시바(東芝) 계열사, 거울 표면의 흠집을 색으로 식별
반도체 외관 검사에도 적용

도시바 산하로 임베디드계 소프트웨어를 개발하는 도시바정보시스템(가와사키 시)은 도시바가 특허를 가지고 있는 광학 검사 기술 ‘OneShotBRDF’를 응용해 반도체용 제품의 외관 검사에도 적용해나갈 방침이다.

외관 검사에서는 카메라에 의한 화상 처리가 일반에 보급되고 있지만, 이를 통해 거울 표면이나 유리 표면 등에 생긴 흠집을 검출하는 것은 어렵다고 여겨지고 있다. 이러한 광택도를 가진 표면상의 미세한 흠집도 식별할 수 있는 OneShotBRDF의 이점을 활용해 반도체 전(前)공정에서의 웨이퍼 외관 검사용으로 반도체 장치 업체에 이 기술을 판매할 계획이다.

OneShotBRDF 는 렌즈와 빛의 반사 각도를 선택하는 '다파장동축개구(多波長同軸開口) 필터'를 조합해 백색 LED 등의 빛을 검사 대상에 조사(照射) 했을 때 흠집이 없는 표면의 정반사광과 흠집에 의한 산란광을 실시간으로 식별한다.

다파장동축개구 필터의 색과 형상은 커스터마이징이 가능하며, 예를 들어, 적색과 청색이 조합된 과녁과 같은 색·형상의 경우, 흠집 부분이 적색으로 보인다.

카메라에 의한 외관 검사의 경우, 거울 표면이면 조명이 비치고, 유리 표면이면 빛이 투과해 배경이 비치기 때문에 화상 처리로 이를 해결하고 있다. 그러나, 소프트웨어에 의한 화상 처리에서는 검출에 시간이 걸려 코스트 증가로 이어질 뿐만 아니라, 검출하기 어려운 흠집이 있다는 것도 과제였다.

이번에 개발한 기술은 화상 처리 등 후처리가 불필요하기 때문에 검사 시간을 단축할 수 있고, 코스트도 억제할 수 있다고 한다.

반도체용 제품은 나노 수준의 미세한 흠집도 검출해낼 필요가 있다. 도시바정보 시스템은 이미 반도체 장치 제조사들과 이 기술 판매를 위한 구체적인 상담을 진행하고 있다고 한다.

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