일본산업뉴스요약

IoT 대응 진동 감지 센서 개발
IMV, 생산현장 기계의 예방 보전에 기여

IMV는 기계의 예방 보전을 담당하는 설비 상태 감시 시스템(CMS)에서 진동 감지 센서를 개발했다. 초소형 정밀기계 기술(MEMS)와 압전식 진동 센서의 기술을 융합했다. IoT 대응 진동 감지 센서로 공장자동화(FA) 대응 생산 현장 등에 9월 정도에 샘플 공급하고 3년 후에 연 50만 개의 판매를 목표로 한다.

IMV가 개발한 것은 MEMS 가속도 센서를 탑재한 진동을 감지할 수 있는 기기 ‘VP-8021A’다. MEMS 가속도 센서의 개발에 강점을 가진 미국 아날로그 디바이스의 노하우와 IMV의 압전식 진동 센서에서 쌓은 센서 패키지 기술을 융합했다. 소비세를 뺀 가격은 1만~3만 엔 정도를 생각하고 있다.

VP-8021A는 IMV가 고안한 진동의 영향을 받지 않는 센서의 본체 구조를 채용했다. 진동시험 결과 기계의 예방 보전에 사용하는 진동 진단에 필요한 진동 수 10킬로헤르츠까지 대응할 수 있는 것을 확인했다.

MEMS 가속도 센서는 회로 기판에 장착하지 않으면 사용할 수 없다. 다만 회로 기판 자체도 기계의 진동으로 움직이기 때문에 ‘흔들림’이 센서에 전달된다. 기존에는 그런 의도하지 않은 진동이 진동계측의 방해가 되고 있었다.

진동 감지용 센서는 온도 및 압력, 유량 등을 계측하는 센서와 비교해 실용 측면에서의 보급이 뒤쳐지고 있다. 이번의 센서 채용으로 생산현장에 기계 진동에 대한 예방 보전의 공헌을 목표로 한다.

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